Subarna, Nana and Soegijoko, Soegijardjo and Samadikun, Samaun and Suwandi, Adang and Wiranto, Goib (2001) Perancangan dan Pembuatan Microtip sebagai Elektroda Ionisasi Pada Sensor Gas. In: Proceeding Industrial Electronics Seminar 2001 (IES 2001), 6 November 2001, Surabaya.

Text (Perancangan dan Pembuatan Microtip sebagai Elektroda Ionisasi Pada Sensor Gas) Repo - Proceedings IES - 2001-edit.pdf Download (7MB)

Abstract

Dalam makalah ini dibahas pengembangan sensor gas dengan teknologi micromachining metoda field ionization. Keuntungan dari sensor gas ini adalah murah, senitivitas tinggi dan dapat dirancang dan dibuat dengan strandrd microfabrication technologies. Pembuatan microrip menggunakan bahan silikon dengan metoda self-aligned. Tahapan proses yang dilakukan adalah silicon molding untuk membuat cetakan microtip yang berbentuk piramida dan electroplating untuk proses pelapisan bagian dalam piramida dengan emas. Pcmbuatan silicon molding dilakukan dengan etsa anisolropik basah. Saat ini penelitian ada pada tahap pembuatan silicon molding dan pcncarian metoda terbaik untuk memperoleh microtip yang benar-benar runcing (r (≤ 4 ) um). Dari penelitian ini diharapkan dapat dihasilkan prototipe sensor gas metoda field ionization. Keywords: micromachining, field ionization, microtip, sensor gas, self-aligned, and silicon molding.

Actions (login required)

View Item